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晶體是原子的重復排列模式,這意味著我們從進入該晶體的電子/光子的角度所看到的景象取決于我們觀察晶體的角度。視角可以是貫穿整個晶體的通道,也可以只是材料的頂部三層,因此材料特性會因角度不同而大相徑庭。要控制好材料特性,就必須控制好晶體取向。
它是離子注入、光刻、外延的重要工藝,也是制造激光或光學組件的重要工藝。
晶體取向系列基于方位掃描,這是一種智能幾何測量技術,用于確定晶體取向。這意味著,我們不僅能在 10 秒內測得主軸的傾斜度,還能測得所有面內方向。此儀器幾乎可以測量任何形狀的單晶體,如晶圓、晶棒、胚晶和晶錠等。
專為工業應用而設計,如供單晶或晶圓制造商、研究用途使用,也可用于晶圓和其他設備的質量控制,
我們的高精度晶體取向系統可提供簡單快速的晶體取向測量,確保為下一步加工步驟提供所需的特性。
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